Решение: Разработан блок генерации высокочастотного напряжения. Предназначен для установки вакуумного плазменного травления. Устройство для подачи высокого напряжения к генератору плазмы, стабилизация по мощности. Внешнее управление-механическое, регистрация данных и передача через интерфейс RS-232. Стабилизация по мощности менее 1% отклонение.
Результаты: Стабилизация и температурная компенсация позволила добиться равномерности обработки образцов в установке травления, что увеличило качество выпускаемой продукции, снизило процент брака, сократив издержки на 25%